蘇州汶顥微流控技術(shù)股份有限公司是一家留學(xué)人員回國創(chuàng)業(yè)的高新科技企業(yè)，集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售為一體，技術(shù)力量雄厚，生產(chǎn)設(shè)備先進(jìn)，檢測手段齊全，產(chǎn)品質(zhì)量過硬。公司建立了完備的微流控芯片研發(fā)與生產(chǎn)中心，配置了三條微流控芯片生產(chǎn) 線，包括數(shù)控CNC微加工儀器，軟刻蝕有機(jī)芯片加工系統(tǒng)，光刻-掩模無機(jī)芯片加工系統(tǒng)，可以加工生產(chǎn)所有材質(zhì)的芯片，如玻璃、石英、硅、PDMS和PMMA等。產(chǎn)品涵蓋集成式通用醫(yī)療診斷芯片、集成式通用環(huán)境保護(hù)分析監(jiān)測芯片、集成式通用食品安全分析檢測芯片和基于微流控芯片的新能源體系四大系列數(shù)十個品種，以及各類科研類芯片，并在生物芯片和化學(xué)芯片領(lǐng)域一直保持技術(shù)和研發(fā)的領(lǐng)先地位，申請國家專利89項，其中授權(quán)20余項，已經(jīng)獲批注冊商標(biāo)2件，軟件著作權(quán)7件，江蘇省高新技術(shù)產(chǎn)品3項，建立企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)5項。

蘇州汶顥微流控技術(shù)股份有限公司提供的產(chǎn)品和服務(wù)按市場可分為科研類芯片、儀器標(biāo)配芯片、應(yīng)用類芯片及系統(tǒng)和芯片實驗室解決方案?？蒲蓄愋酒?wù)于基于微流控芯片的科研工作者，提供包括聚二甲基硅氧烷（PDMS）、聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）、玻璃及硅基等各種不同材質(zhì)的微流控芯片的設(shè)計與制備，用戶只需配置必要的輔助設(shè)備即可使用；儀器標(biāo)配芯片是針對國內(nèi)市場上微流控芯片儀器開發(fā)的標(biāo)準(zhǔn)芯片，為微流控芯片儀器的核心組件，屬耗材類產(chǎn)品，如毛細(xì)管電泳芯片；應(yīng)用類芯片及系統(tǒng)是利用微流控芯片的技術(shù)優(yōu)勢開發(fā)的分析檢測裝置，應(yīng)用于環(huán)保、食品安全、藥物篩選等領(lǐng)域；芯片實驗室解決方案為客戶提供完整的一對一的微流控芯片科研或應(yīng)用的解決方案，分為產(chǎn)品和科技咨詢兩個方面：產(chǎn)品包括微流控芯片加工、檢測儀器設(shè)備配置及微流控芯片配件配置；科技咨詢?yōu)榭蛻籼峁┙M建芯片實驗室的整體方案、解決微流控芯片應(yīng)用中的技術(shù)難題、微流控芯片項目研發(fā)服務(wù)等。

  按照現(xiàn)代公司制度規(guī)范運作企業(yè)是公司創(chuàng)辦伊始就秉承的基本理念，目前，公司的團(tuán)隊結(jié)構(gòu)、人事制度、財務(wù)制度、知識產(chǎn)權(quán)制度等都已經(jīng)逐步形成和完善。公司的口號：高品質(zhì)、高信譽、高效率。公司的宗旨：以發(fā)明創(chuàng)新為龍頭，以科技成果轉(zhuǎn)化為手段，以微流控芯片領(lǐng)域為主戰(zhàn)場，走科研成果商品化，商品產(chǎn)業(yè)化，產(chǎn)業(yè)規(guī)?；蛧H化的道路，以自主創(chuàng)新的核心技術(shù)為基礎(chǔ)的競爭戰(zhàn)略為企業(yè)長期發(fā)展戰(zhàn)略，整合產(chǎn)業(yè)鏈的各項優(yōu)勢資源，打造以自主創(chuàng)新為企業(yè)特色的產(chǎn)業(yè)價值鏈，塑造民族品牌，迎接國際化的挑戰(zhàn)。

光刻機(jī)
產(chǎn)品名稱：

光電URE-2000A型光刻機(jī)

             光刻機(jī)

光電URE-2000A型光刻機(jī)度高，尺寸豐富，運動行程多樣化等特點。

光刻機(jī)產(chǎn)品特點：

◆ 曝光面積：150mm×150mm

◆ 分辨力：0.8-1μm（膠厚2μm的正膠）

◆ 對準(zhǔn)精度：0.6μm

◆ 掩模樣片整體運動范圍：X：6mm;Y:6mm

◆ 掩模尺寸：3英寸、4英寸、5英寸、7英寸

◆ 樣片尺寸：直徑15mm-- 150mm；厚度0.1mm--8mm

◆ 照明均勻性： 3.5%（100mm 范圍）； 5%（ 150mm范圍）

◆ 掩模相對于樣片運動行程：X: 5mm; Y: 5mm; : 6度

◆ zui大膠厚：500m(SU8膠，用戶提供勻膠條件)

◆ 光源平行性：3.5

◆ 汞燈功率：1000W（直流）

◆ 曝光設(shè)定方式：定時（方式0.1s-999.9s任意設(shè)定）

◆ 外形尺寸:1400mm（長）1200mm(寬) 2150mm（高）

光刻機(jī)技術(shù)參數(shù) 配置:

（1）曝光頭

◆冷光橢球鏡

◆1000W進(jìn)口直流高壓汞燈(德國歐司朗,長壽命型)

◆XYZ汞燈調(diào)節(jié)臺

◆光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準(zhǔn)直鏡鏡1

、準(zhǔn)直鏡鏡2、蠅眼透鏡組（100個透鏡）、i線濾光片

、場鏡1、場鏡2、冷光反射鏡1、反射鏡2

◆冷卻風(fēng)扇

◆循環(huán)水冷系統(tǒng)

（2）對準(zhǔn)工件臺

◆掩模樣片整體運動臺

◆掩模樣片相對運動臺

◆轉(zhuǎn)動臺

◆樣片調(diào)平機(jī)構(gòu),自動完成

◆樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)，自動調(diào)

◆承片臺4個（2英寸、3英寸、4英寸、6英寸）

◆掩模夾4個（3英寸、4英寸、5英寸、7英寸）

◆基片抽拉式上下機(jī)構(gòu)

（3）對準(zhǔn)顯微鏡

◆光源（配備品2只）、電源

◆雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡主體

◆目鏡3對（10倍、16倍、20倍，共6個）

◆物鏡3對（4倍、10倍、20倍，共6個）

（4）CCD對準(zhǔn)系統(tǒng)

◆光源（配備品3只）、電源

◆成像光學(xué)系統(tǒng)

◆數(shù)據(jù)采集卡

◆CCD

（5）電控系統(tǒng)

◆汞燈觸發(fā)電源(1000W直流汞燈)

◆單片機(jī)控制系統(tǒng)

◆控制柜桌

◆計算機(jī)系統(tǒng)及液晶顯示器(21寸寬屏)

（6）氣動系統(tǒng)

◆氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關(guān)等

◆電磁閥驅(qū)動

◆氣動儀表

（7）其他附件

◆真空泵一臺（無油泵）

◆空壓機(jī)一臺（靜音泵）

◆管道

（8）技術(shù)資料

◆使用維修說明書

◆顯微鏡使用說明書