半導(dǎo)體冷水機(jī)低溫冰水機(jī)Chiller ZL系列，應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測(cè)試環(huán)節(jié)的溫度控制，具有溫度穩(wěn)定性高、溫度范圍廣、故障診斷、外部通信等豐富功能的裝置。在半導(dǎo)體制作過程/激光加工機(jī)/分析裝置/FPD制造裝置等用途中成果較多。

成都中冷低溫科技有限公司是一家創(chuàng)新型高科技企業(yè)，擁有一支專業(yè)知識(shí)扎實(shí)、實(shí)戰(zhàn)經(jīng)驗(yàn)豐富的年輕團(tuán)隊(duì)，主要成員來至于國內(nèi)外知名學(xué)府或科研院所。公司專注于低溫領(lǐng)域，提供常溫到-200℃的全套溫度解決方案，主要生產(chǎn)工業(yè)冷水機(jī)組、低溫制冷機(jī)、深冷水汽捕集泵、高低溫循環(huán)測(cè)試機(jī)、太空模擬倉，產(chǎn)品應(yīng)用于化工、石油、生物、制藥、真空鍍膜、電子通訊、電池包測(cè)試、集成電路等領(lǐng)域。

半導(dǎo)體冷水機(jī)低溫冰水機(jī)Chiller ZL系列

本設(shè)備性能優(yōu)異，體積小、噪音低、耗電量低、熱效率高且可根據(jù)需求定制，控制精度可達(dá)±0.05℃，適用于溫濕度控制良好的環(huán)境，具有定時(shí)運(yùn)轉(zhuǎn)、溫度補(bǔ)償、實(shí)現(xiàn)自我診斷等功能，且可實(shí)現(xiàn)過熱、過載、缺水等多重報(bào)警功能，遠(yuǎn)程控制方便，可以實(shí)現(xiàn)RS232、RS485、ETH等多種不同通訊方式控制。

半導(dǎo)體冷水機(jī)低溫冰水機(jī)Chiller ZL系列
溫控精度（空載時(shí)）±0.05℃

 觸摸屏操作，人機(jī)交互界面

 連鎖控制、可靠性高

 定時(shí)運(yùn)轉(zhuǎn)、液面降低、停電復(fù)位、防凍功能

 溫度波動(dòng)小

 占地面積小、保護(hù)裝置

 快速升溫/降溫、提高生產(chǎn)效率、降低運(yùn)營成本和保障生產(chǎn)

 運(yùn)行穩(wěn)定、準(zhǔn)確控溫

半導(dǎo)體冷水機(jī)低溫冰水機(jī)Chiller ZL系列

應(yīng)用領(lǐng)域

應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)蝕刻裝置，CMP （工藝機(jī)械拋光）實(shí)驗(yàn)室精密裝置、高精度測(cè)試儀器、醫(yī)美設(shè)備、固態(tài)激光器、模具溫控等。

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