對軍事工程、化爆試驗等科學(xué)試驗與現(xiàn)代化儀器儀表中，要不失真地測量一些變化頻率高、壓力波形上升快陡的動態(tài)壓力波形與幅值、有效值，要求所用壓力傳感器具有高的固有頻率、極短的上升時間和寬廣優(yōu)良的響應(yīng)頻帶，以保證足夠的動態(tài)測壓精度，產(chǎn)品即是為此設(shè)計開發(fā)的，利用微機(jī)械加工技術(shù)使得集成硅膜片有效尺寸小，固有頻率

昆山雙橋傳感器測控技術(shù)有限公司是中科院昆山高科技產(chǎn)業(yè)園、國家火炬計劃昆山傳感器產(chǎn)業(yè)基地核心骨干企業(yè)，成立于2001年，注冊資產(chǎn)500萬元,現(xiàn)總資產(chǎn)近1320萬元。公司以MEMS壓阻壓力傳感器為主導(dǎo)產(chǎn)品，兼及其它相關(guān)傳感器、變送器，自控儀表及系統(tǒng)的開發(fā)、生產(chǎn)與銷售。公司2002年評為江蘇省高新技術(shù)企業(yè)，2008昆山市首批33家通過復(fù)審的高新技術(shù)企業(yè)。公司2002年通過ISO9001:2000標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量管理體系的認(rèn)證，2007年通過武器裝備科研生產(chǎn)單位保密資格認(rèn)證、2010年通過了武器裝備科研生產(chǎn)許可證；公司先后被評為蘇州市百強(qiáng)民營企業(yè)、全國民營科技企業(yè)創(chuàng)新獎、江蘇省質(zhì)量信得過企業(yè)、昆山市科技研發(fā)中心、昆山市的十佳高新技術(shù)企業(yè)；先后獲得國家技術(shù)發(fā)明二等獎、國家發(fā)明獎、教育部科技進(jìn)步一等獎、中國儀器儀表學(xué)會科技成果獎、石油化工協(xié)會科技發(fā)明二等獎、中國電子學(xué)會電子信息科學(xué)技術(shù)三等獎，蘇州市科技發(fā)明二等獎、蘇州市科技進(jìn)步三等獎，蘇州市十大獎、蘇州市產(chǎn)品等榮譽(yù)十余項。

雙橋公司是國內(nèi)較早開發(fā)MEMS技術(shù)壓力傳感器研究的幾個單位之一，是國內(nèi)較少的幾個堅持從MEMS力敏芯片的設(shè)計、制造做起，因而具有自主知識產(chǎn)權(quán)排名的本行業(yè)眾企業(yè)之首，行業(yè)中自我創(chuàng)新能力名列前茅 ，確立了以高、特、難、新MEMS壓力傳感器為企業(yè)主發(fā)展方向?，F(xiàn)有員工五十多人，研究生4人，大專以上文化36人，具有10年以上傳感器開發(fā)經(jīng)驗的高級技術(shù)人員6人，其中研究員級、博導(dǎo)4人。(從事研究開發(fā)的技術(shù)人員17人)

雙橋傳感器公司先后參與和承擔(dān)了國家863高技術(shù)研究發(fā)展重大專項、國家中小企業(yè)科技創(chuàng)新基金項目、江蘇省高技術(shù)研究項目、蘇州市科技攻關(guān)項目、昆山市科技攻關(guān)項目等國家、省、市各級科技項目十余項次。公司現(xiàn)擁有省高新技術(shù)產(chǎn)品10項，已授權(quán)發(fā)明15項，實用新型7項，軟件著作權(quán)3項；申請并已受理累計30項，其中發(fā)明21項，國防發(fā)明2項。

產(chǎn)品綜述

 對軍事工程、化爆試驗、石油勘采與試井、材料、力學(xué)、土木工程學(xué)、巖土力學(xué)、創(chuàng)傷醫(yī)學(xué)、液壓動力機(jī)械試驗等科學(xué)試驗與現(xiàn)代化儀器儀表中，需要不失真地測量一些變化頻率高、壓力波形上升快陡的動態(tài)壓力波形與幅值、有效值，這就要求所用壓力傳感器具有高的固有頻率、極短的上升時間和寬廣優(yōu)良的響應(yīng)頻帶，以保證足夠的動態(tài)測壓精度，本系列產(chǎn)品即是為此設(shè)計開發(fā)的，它利用微機(jī)械加工技術(shù)使得集成硅膜片有效尺寸小，固有頻率高；有優(yōu)良的彈性力學(xué)特性，綜合性能優(yōu)于壓電動態(tài)壓力傳感器，成為動壓測試中壓電壓力傳感器的換代產(chǎn)品。美國軍標(biāo)和我國軍標(biāo)在爆轟動態(tài)測量標(biāo)準(zhǔn)中都推薦首選壓阻式壓力傳感器。

產(chǎn)品型號

一、CYG401齊平封裝高頻壓力傳感器

1、特點及用途：無管腔全齊平結(jié)構(gòu)，優(yōu)越的靜態(tài)性能及動態(tài)響應(yīng)能力，低噪聲，高分辨率，高信噪比，帶防光

干擾，可選配雙屏蔽互絞專用抗干擾電纜。該產(chǎn)品能用于各種爆炸沖擊波測量及動態(tài)壓力測量。

2、壓力量程：0～1Mpa～100Mpa內(nèi)可任選量程

3、固有頻率及上升時間（可用帶寬：0～1/3固有頻率）

4、非 線 性：±0.2％～±1％

5、精度等級：

指標(biāo) 檔級	零點時漂 mv/8h	零位溫度系數(shù) ×10-4FS /℃	靈敏度溫度系數(shù) ×10-4 FS /℃	非線性 ±％FS	不重復(fù)性、遲滯 %FS
JA	0.1	3	3	0.5(1.0*)	0.3
JB	0.1	2	2	0.2(0.5*)	0.1
MA	0.2	5	5	0.5(1.0*)	0.3
MB	0.15	3	3	0.2(0.5*)	0.2

注：*為40Mpa以上量程參數(shù)

6、測量介質(zhì)溫度：-50℃～120℃     （特殊措施下可耐2000℃/20ms瞬態(tài)高溫）

7、補(bǔ)償溫度范圍：J級-20℃～80℃；   M級0℃～50℃（亦可按用戶要求特訂）

8、抗光干擾特性：J級加強(qiáng)抗紅外及可見光；M級抗自然可見光

9、 供電方式： ①恒流源或恒壓源      ②±15VDC

10、輸出方式： ①差分毫伏信號，標(biāo)稱值100mV±30% ②配有放大器，標(biāo)準(zhǔn)值0～5V

11、測量介質(zhì)： 與硅﹑不銹鋼兼容的無腐蝕介質(zhì)（如有特殊測量介質(zhì)需提前告知）

二、CYG402齊平封裝高頻高溫壓力傳感器

1、特點及用途：采用無管腔全齊平結(jié)構(gòu)，耐高溫，優(yōu)越的靜態(tài)性能及動態(tài)響應(yīng)能力。低噪聲，高分辨率，高信噪比，帶防光干擾，可選配雙屏蔽互絞專用抗干擾電纜。該產(chǎn)品能用于各種連續(xù)爆炸沖擊波測量以及高溫動態(tài)壓力測量。

2、壓力量程：0～1Mpa～100Mpa

3、固有頻率及上升時間（可用帶寬：0～1/3固有頻率）

量    程   Mpa	1	2	4	6	10	20	40	60	100
固有頻率   kHz	180	240	320	250	320	450	600	800	1000
上升時間   μs	1	1	0.5	0.5	0.5	0.3	0.3	0.2	0.2

4、非 線 性：±0.2％～±1％

5、精度等級：

指標(biāo) 檔級	零點時漂 mv/8h	零位溫度系數(shù) ×10-4 FS /℃	靈敏度溫度系數(shù) ×10-4FS /℃	非線性 ±％FS	不重復(fù)性、遲滯 %FS
JA	0.2	5	5	0.5(1.0*)	0.2
JB	0.1	2	2	0.2(0.5*)	0.1

注：*為40Mpa以上量程參數(shù)

6、測量介質(zhì)溫度：－50℃～200℃。（特殊措施下可耐2000℃/100ms）

7、補(bǔ)償溫度范圍：0℃～150℃，亦可按用戶要求特訂

8、抗光干擾特性：J級加強(qiáng)抗紅外及可見光。

9、 供電方式：①恒流源或恒壓源        ②±15VDC

10、輸出方式：①差分毫伏信號，標(biāo)稱值60mV±30%   ②配有放大器，標(biāo)準(zhǔn)值0～5V

11、測量介質(zhì)：與硅﹑不銹鋼兼容的無腐蝕非導(dǎo)電性介質(zhì)（如有特殊測量介質(zhì)需提前告知）

三、CYG405齊平封裝動態(tài)低壓傳感器

1、特點及用途：無管腔全齊平結(jié)構(gòu)，優(yōu)越的靜態(tài)性能及動態(tài)響應(yīng)能力，低噪聲，高分辨率，高信噪比，低量程，可選配雙屏蔽互絞專用抗干擾電纜。該產(chǎn)品用于要求齊平，連準(zhǔn)齊平微孔腔都不允許的動態(tài)壓力測量，尤其液體介質(zhì)低壓動態(tài)壓力測量。

2、壓力量程：0～50kpa～800kpa

3、固有頻率及上升時間（可用帶寬：0～1/3固有頻率）

量    程   kpa	50	100	200	400	800
固有頻率   kHz	80	100	120	150	180
上升時間   μs	1	1	1	1	1

4、非 線 性：±0.2％～±0.5％

5、精度等級：

指標(biāo) 檔級	零點時漂 mv/8h	零位溫度系數(shù) ×10-4FS/℃	靈敏度溫度系數(shù) ×10-4FS/℃	非線性 ±％FS	不重復(fù)性、遲滯 %FS
JA	0.2	5	5	0.5	0.2
JB	0.15	3	3	0.2	0.1

6、測量介質(zhì)溫度：-50℃～120℃

7、補(bǔ)償溫度范圍：0℃～50℃亦可按用戶要求特訂。

8、抗光干擾特性：抗自然可見光

9、 供電方式：①恒流源或恒壓源  ②±15VDC

10、輸出方式：①差分毫伏信號，輸出靈敏度2～4mV/V（200kpa以下） 5～10mV/V（400kpa以上）

②配有放大器，0～5V或0～2V

11、測量介質(zhì)：與硅﹑不銹鋼兼容的無腐蝕非導(dǎo)電性介質(zhì)（如有特殊測量介質(zhì)需提前告知）

四、CYG406準(zhǔn)齊平動態(tài)微壓傳感器

1、特點及用途：微管腔準(zhǔn)齊平結(jié)構(gòu)，優(yōu)越的靜態(tài)性能及動態(tài)響應(yīng)能力，低噪聲，高分辨率，高信噪比，可下延至微壓量程段，可選配雙屏蔽互絞專用抗干擾電纜。該產(chǎn)品用于動態(tài)要求較高的微小量程動態(tài)壓力測量，如小劑量爆轟或動態(tài)工況下的結(jié)構(gòu)表面壓力場測試分析。

2、壓力量程：0～1kpa～600kpa

3、固有頻率及上升時間（可用帶寬：0～1/5固有頻率）

量    程   kpa	1	4	10	25	100	250	600
固有頻率   kHz	＞5	＞5	＞20	＞100	＞150	＞300	＞300
上升時間   μs	5	5	2	1	1	0.5	0.5

4、非 線 性：±0.2％～±0.5％

5、精度等級：

指標(biāo) 檔級	零點時漂 mv/8h	零位溫度系數(shù) ×10-4FS/℃.	靈敏度溫度系數(shù) ×10-4FS/℃	非線性 ±％FS	不重復(fù)性、遲滯 %FS
JA	0.15	3	3	0.5	0.2
JB	0.1	2	2	0.2	0.1
MA	0.3	5	5	0.5	0.3
MB	0.2	3	3	0.2	0.2

6、測量介質(zhì)溫度：-50℃～120℃

7、補(bǔ)償溫度范圍：J級-20℃～80℃       M級0℃～50℃，亦可按用戶要求特訂。

8、抗光干擾特性：抗自然可見光

9、 供電方式：①恒流源或恒壓源     ②±15VDC

10、輸出方式：①差分毫伏信號，標(biāo)稱值100mV±30%（100kpa以上）；50mV±40%（100kpa以下）  

②配有放大器標(biāo)準(zhǔn)值，0～5V

11、測量介質(zhì)：與硅﹑不銹鋼兼容的無腐蝕非導(dǎo)電性介質(zhì)（如有特殊測量介質(zhì)需提前告知）

產(chǎn)品外形圖

CYG401、402、405、406型外形圖

1、外形尺寸：上圖帶有寬帶放大器，標(biāo)準(zhǔn)輸出型；下圖直接mV級信號輸出傳感器

2、安裝接口：M20×1.5（標(biāo)準(zhǔn)），螺紋深12mm.其它接口需協(xié)商訂貨（如M14×1）

3、出線方式：航插、霍斯曼、直出線三種可選。

4、殼體材料：不銹鋼

五、CYG409水冷式高頻高溫壓力傳感器

1、特點及用途：無管腔全齊平結(jié)構(gòu)，優(yōu)越的靜態(tài)性能及動態(tài)響應(yīng)能力，低噪聲，高分辨率，高信噪比，防光干擾，帶水冷循環(huán)結(jié)構(gòu)，可選配雙屏蔽互絞專用抗干擾電纜。該產(chǎn)品用于各種發(fā)動機(jī)高溫壓力測量及各種高溫介質(zhì)動態(tài)壓力測量。

2、壓力量程：0～1Mpa～100Mpa

3、固有頻率及上升時間（可用帶寬：0～1/3固有頻率）

量    程   Mpa	1	2	4	6	10	20	40	60	100
固有頻率   kHz	180	240	320	250	320	450	600	800	1000
上升時間   μs	1	1	0.5	0.5	0.5	0.3	0.3	0.2	0.2

4、非 線 性：±0.2％～±1％

5、精度等級：

指標(biāo) 檔級	零點時漂 mv/8h	零位溫度系數(shù) ×10-4FS /℃	靈敏度溫度系數(shù)×10-4FS/℃	非線性 ±％FS	不重復(fù)性、遲滯 %FS
JA	0.1	3	3	0.5(1.0*)	0.3
JB	0.1	2	2	0.2(0.5*)	0.1
MA	0.2	5	5	0.5(1.0*)	0.3
MB	0.15	3	3	0.2(0.5*)	0.2

注：*為40Mpa以上量程參數(shù)

6、測量介質(zhì)溫度：J級0℃～450℃； M級10℃～300℃（特殊措施下可耐2000℃/200ms或1000℃/1000ms）

7、補(bǔ)償溫度范圍：J級30℃～100℃；M級30℃～80℃。（亦可按用戶要求特訂）

8、抗光干擾特性：J級加強(qiáng)抗紅外及可見光；M級抗自然可見光。

9、 安裝接口：M20×1.5，螺紋深12mm

10、出線方式：航插、霍斯曼、直出線三種可選（建議直出線式或航插式）

11、供電方式：恒壓源或恒流源

12、輸出方式：差分毫伏信號

13、測量介質(zhì)：與硅﹑不銹鋼兼容的無腐蝕非導(dǎo)電性介質(zhì)（如有特殊測量介質(zhì)需提前告知）

14、殼體材料：不銹鋼

15、冷卻水壓力：不小于300kpa，嚴(yán)禁工作期間停壓或掉管；不大于700kpa，防止爆管

六、CYG410低壓自由場高頻動態(tài)壓力傳感器

1、特點及用途：流線型無反射外型，無管腔全齊平結(jié)構(gòu)，優(yōu)越的靜態(tài)性能及動態(tài)響應(yīng)能力，低噪聲，高分辨率，高信噪比，帶防火護(hù)線管，最小量程可下沿至50kpa，可選配雙屏蔽互絞專用抗干擾電纜。該產(chǎn)品用于各種小壓力爆炸沖擊波自由場壓力測量。

2、壓力量程：0～50kpa～500kpa

3、固有頻率及上升時間（用帶寬：0～1/3固有頻率）

量    程   kpa	50	100	200	340	500
固有頻率   kHz	80	100	120	150	180
上升時間   μs	2	2	1	1	1

4、非 線 性：±0.2％～±0.5％

5、精度等級：

指標(biāo) 檔級	零點時漂 mv/8h	零位溫度系數(shù) ×10-4FS/℃	靈敏度溫度系數(shù) ×10-4FS/℃	非線性 ±％FS	不重復(fù)性、遲滯 %FS
JA	0.2	5	5	0.5	0.2
JB	0.15	3	3	0.2	0.1

6、測量介質(zhì)溫度：-50℃～120℃（特殊措施下可耐2000℃/20ms）

7、補(bǔ)償溫度范圍：0℃～50℃。（亦可按用戶要求特訂）

8、抗光干擾特性：抗自然可見光

9、 直    徑：Φ34mm，Φ25mm(如需特殊尺寸需提前協(xié)商)

10、供電方式：①恒流源或恒壓源       ②±15VDC

11、輸出方式：①差分毫伏信號，輸出靈敏度2～4mV/V（200kpa以下） 5～10mV/V（400kpa以上）   ②配有放大器，標(biāo)準(zhǔn)值0～5V

12、測量介質(zhì)：與硅﹑不銹鋼或合金鋁兼容的無腐蝕介質(zhì)（如有特殊測量介質(zhì)需提前告知）

七、CYG411中壓自由場高頻動態(tài)壓力傳感器

1、特點及用途：流線型無反射外型，無管腔全齊平結(jié)構(gòu)，優(yōu)越的靜態(tài)性能及動態(tài)響應(yīng)能力，低噪聲，高分辨率，高信噪比，帶防光干擾，帶防火護(hù)線管，可選配雙屏蔽互絞專用抗干擾電纜。該產(chǎn)品能用于各種爆炸沖擊波自由場壓力測量。

2、壓力量程：0～1Mpa～10Mpa

3、固有頻率及上升時間（可用帶寬：0～1/3固有頻率）

量    程   Mpa	1	2	3.4	6	10
固有頻率   kHz	180	240	280	320	360
上升時間   μs	1	1	0.5	0.5	0.5

4、非 線 性：±0.2％～±0.5％

5、精度等級：

指標(biāo) 檔級	零點時漂 mv/8h	零位溫度系數(shù) ×10-4 FS /℃	靈敏度溫度系數(shù) ×10-4 FS /℃	非線性 ±％FS	不重復(fù)性、遲滯 %FS
JA	0.15	3	3	0.5	0.3
JB	0.1	2	2	0.2	0.1
MA	0.2	5	5	0.5	0.3
MB	0.15	3	3	0.2	0.2

6、測量介質(zhì)溫度：-50℃～120℃（特殊措施下可耐2000℃/20ms）

7、補(bǔ)償溫度范圍：J級-10℃～60℃；   M級0℃～50℃（亦可按用戶要求特訂）

8、抗光干擾特性：J級加強(qiáng)抗紅外及可見光；M級抗自然可見光

9、 直    徑：Φ34mm，Φ25mm(如需特殊尺寸需提前協(xié)商)

10、出線方式：航插，直出線

11、供電方式：①恒流源或恒壓源                        ②±15VDC

12、輸出方式：①差分毫伏信號，標(biāo)稱值100mV±30%      ②配有放大器，標(biāo)準(zhǔn)值0～5V

13、測量介質(zhì)：與硅﹑不銹鋼或合金鋁兼容的無腐蝕介質(zhì)（如有特殊測量介質(zhì)需提前告知）

八、CYG412高壓自由場高頻動態(tài)壓力傳感器

1、特點及用途：流線型無反射外型，無管腔全齊平結(jié)構(gòu)，優(yōu)越的靜態(tài)性能及動態(tài)響應(yīng)能力，低噪聲，高分辨率，高信噪比，帶防光干擾，帶防火護(hù)線管，可選配雙屏蔽互絞專用抗干擾電纜。該產(chǎn)品能用于各種高壓爆炸沖擊波自由場壓力測量。

2、壓力量程：0～20Mpa～100Mpa

3、固有頻率及上升時間（可用帶寬：0～1/3固有頻率）

量    程   Mpa	20	40	60	100
固有頻率   kHz	450	600	800	1000
上升時間   μs	0.3	0.3	0.2	0.2

4、非 線 性：±0.5％～±1.0％

5、精度等級：

指標(biāo) 檔級	零點時漂 mv/8h	零位溫度系數(shù) ×10-4FS /℃	靈敏度溫度系數(shù) ×10-4 FS /℃	非線性 ±％FS	不重復(fù)性、遲滯 %FS
JA	0.1	3	3	1.0	0.3
JB	0.1	2	2	0.5	0.2

6、測量介質(zhì)溫度：－50℃～120℃（特殊措施下可耐2000℃/20ms）

7、補(bǔ)償溫度范圍：J級-10℃～60℃（亦可按用戶要求特訂）

8、抗光干擾特性：J級加強(qiáng)抗紅外及可見光

9、 直    徑：Φ34mm，Φ25mm(如需特殊尺寸需提前協(xié)商)

10、供電方式：①恒流源或恒壓源 ②±15VDC

11、輸出方式：①差分毫伏信號，標(biāo)稱值100mV±30% ②配有放大器，標(biāo)準(zhǔn)值0～5V

12、測量介質(zhì)：與硅﹑不銹鋼兼容的無腐蝕介質(zhì)（如有特殊測量介質(zhì)需提前告知）

13、出線方式：航插，直出線兩種任選

14、殼體材料：不銹鋼和合金鋁（小量程傳感器）

CYG1400高頻動態(tài)壓力變送器

   各傳感器型號均可配置下列寬帶信號處理器，構(gòu)成寬帶動態(tài)壓力變送器。傳感器與信號處理器一體式結(jié)構(gòu)訂貨代號：YT；分體式結(jié)構(gòu)訂貨代號：FT。

凡訂購動態(tài)壓力變送器在原傳感器型號三位前加“1”，

    例：CYG401高頻動態(tài)壓力傳感器，CYG1401 YT高頻動態(tài)壓力變送器。

    寬帶信號處理器，按帶寬：    0～20kHz                     訂貨代號MF

                                0～100kHz 上升時間1us，      訂貨代號HF

                                0～200kHz 上升時間0.5us，    訂貨代號UF

    寬帶信號處理器一律要求用戶采用±15V線性電源供電，推薦采用朝陽軍用電源。

    動態(tài)壓力變送器輸出信號模式：0～5V（可按用戶要求的電壓輸出模式特訂）

注意：如需長距離布線建議使用一體式結(jié)構(gòu)變送器，動態(tài)壓力變送器的寬帶信號處理器單元只能承受-20℃～100℃溫度，高溫動態(tài)壓力變送器使用時應(yīng)注意合理使用。

選配附件：

多路恒壓適配器：與變送器分體結(jié)構(gòu)，內(nèi)置傳感器供電電源，帶BNC接口信號輸出，配合采集儀使用。

（8路，16路，20路）

單路適配器：信號輸出使用BNC出線接口，直接配合采集儀使用。

電      纜：普通屏蔽多芯電纜或?qū)Ｓ秒p屏蔽雙絞互絞多芯電纜。

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