美國實驗室光刻系統(tǒng)使用的172nm 的波長。不需要傳統(tǒng)的光刻膠，對幾乎任何的有機聚合物材料都可以光刻。不需要傳統(tǒng)的涂膠、烘烤、曝光、顯影、清洗等的流程和時間。高分辨率、高強度、率、低成本。在實驗室就可以實現(xiàn)光刻，而無需到半導(dǎo)體工廠，使用大型和昂貴的刻蝕機。操作簡單，幾乎無需培訓(xùn)。

華賀公司是一家為企業(yè)及科研客戶提供測試測量解決方案的高新技術(shù)企業(yè)。致力于國內(nèi)外電子測試測量領(lǐng)域產(chǎn)品的交匯整合，集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售為一體，在所涉足的技術(shù)和行業(yè)領(lǐng)域，以客戶的應(yīng)用為出發(fā)點，向客戶提供從產(chǎn)品到系統(tǒng)的全面和增值的解決方案。

華賀的核心業(yè)務(wù)包括：

• 為客戶提供測試測量技術(shù)咨詢，以及恰當(dāng)?shù)臏y試方案
• 各種測試設(shè)備及相關(guān)器材的供應(yīng)
• 軟硬件系統(tǒng)集成服務(wù)
• 測試測量產(chǎn)品的設(shè)計開發(fā)
• 產(chǎn)品的維修、校準服務(wù)

美國實驗室光刻系統(tǒng)(Photo-Lithograghy)

 

品牌名稱：Cygnus（小天鵝）

系統(tǒng)名稱：π 2 -CYGNI

品牌口號：Smallest lab in the world

可提供項目：

? 系統(tǒng)銷售

? 光刻服務(wù)

? 掩膜板銷售

? 樣機展示、培訓(xùn)

美國實驗室光刻機簡述：使用的172nm 的波長。不需要傳統(tǒng)的光刻膠，對幾乎任何的有機聚合物材料都可以光刻。不需要傳統(tǒng)的涂膠、烘烤、曝光、顯影、清洗等的流程和時間。高分辨率、高強度、率、低成本。在實驗室就可以實現(xiàn)光刻，而無需到半導(dǎo)體工廠，使用大型和昂貴的刻蝕機。操作簡單，幾乎無需培訓(xùn)。

特點：

? 新一代真空紫外(VUV)光源波長：170nm

? 輸出強度高: 7.2eV/光子

? 高光輸出均勻性： 3%

? 燈壽命長: 曝光可達30,000次

? 不要超凈間、無需復(fù)雜昂貴的光學(xué)平臺

? 操作簡單、快速

? 體機小巧

美國實驗室光刻機目標實驗室：大學(xué)、科研院所，進行芯片、傳感器、電路研究的如下實驗室

? 半導(dǎo)體材料和工藝研究

? 物理：微機電、納米、存儲、芯片研究、傳感器

? 化學(xué)：材料研究，刻蝕、光刻、清洗

? 光電

? 材料科學(xué)

? 生物：微流控，生物芯片

? 醫(yī)學(xué)：微流控，生物/醫(yī)學(xué)芯片

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