大型無氧烤箱IC芯片電子件無氧烤箱參數(shù)

大型無氧烤箱材質(zhì)：外箱采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼，內(nèi)箱采用SUS304不銹鋼

大型無氧烤箱風循環(huán)系統(tǒng)：熱風循環(huán)系統(tǒng)：采用進口覆套式電熱器（SHEATHED HEATER）無塵無氧化電熱發(fā)生器

溫度范圍：RT+10-200℃

溫度分辨率：0.1℃

溫度波動度：＜±1℃

溫度均勻度：≤±2%

潔凈度：class 100，設(shè)備采用無塵材料，

適用100級光刻間凈化環(huán)境

升溫時間：5-8℃/min，（空箱測試）

降溫時間：可滿足130℃-50℃，降溫5℃/min（空箱測試）

氧含量(配氧含量分析儀)高溫狀態(tài)氧含量：≤ 20ppm +氣源氧含量：

箱體內(nèi)裝有氧含量分析儀，全稱檢測氧含量，并記錄數(shù)據(jù)排氣口采用自動風門設(shè)計以達到強烈的循環(huán)效果及快速降溫，進氣口加附N2流量計控制進氣量，入氣口10mm氧含量可達到40PPM以下