布魯克，納米壓痕儀，海思創(chuàng)TI 980 ——上的納米力學(xué)和納米摩擦學(xué)測試系統(tǒng)，加速納米力學(xué)研究進入更高階段。布魯克納米壓痕儀海思創(chuàng)TI 980同時具有zui高的性能、靈活性、可信度、實用性和速度?；诤Ｋ紕?chuàng)幾十年的技術(shù)創(chuàng)新，它為納米力學(xué)表征帶來了更高水平的性能、功能和易用性。

世普藍華(北京)科技有限公司是一家年輕的高科技公司，主要從事表面科學(xué)、分析儀器、實驗室儀器及單晶材料的服務(wù)和銷售，為科研、檢測及生產(chǎn)提供完整可靠的解決方案。銷售的儀器主要有美國TSI、泰斯肯（Tescan）、布魯克（Bruker）等世界知名品牌的高精度分析儀器、表面檢測儀器、生產(chǎn)設(shè)備，以及配套的耗材和配件；銷售的單晶材料主要有：磷化銦（?InP）、銻化鎵（GaSb）、砷化銦（InAs）。這些產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、平板顯示、太陽能、電子等各個領(lǐng)域。 ? ? ? 展望將來，公司將會引進更多的表面檢測和化學(xué)分析的測試儀器，為客戶提供測試測量技術(shù)開發(fā)、產(chǎn)品配套、系統(tǒng)集成（軟、硬件）、維修、租賃、第三方儀器設(shè)備外包管理、采購管理、咨詢服務(wù)以及保稅庫物流配套服務(wù)等。并將更多專業(yè)的應(yīng)用技術(shù)滲透到日常服務(wù)中去，更便捷、更周到地滿足客戶需求。對世普藍華而言，客戶需要的正是我們所追求的，是我們孜孜以求的坐標(biāo)和不斷超越的動力！在未來激烈多變的市場競爭中，世普藍華將與客戶一起攜手并進，共創(chuàng)輝煌。

布魯克，納米壓痕儀，海思創(chuàng)TI 980 ——上的納米力學(xué)和納米摩擦學(xué)測試系統(tǒng)，加速納米力學(xué)研究進入更高階段。

布魯克，納米壓痕儀，海思創(chuàng)TI 980，同時具有zui高的性能、靈活性、可信度、實用性和速度?；诤Ｋ紕?chuàng)幾十年的技術(shù)創(chuàng)新，它為納米力學(xué)表征帶來了更高水平的性能、功能和易用性。TI 980達到了一臺優(yōu)異納米力學(xué)測試儀器所需的所有要求，實現(xiàn)了控制上突出的性和性，試驗上的靈活度與可實現(xiàn)性，測量穩(wěn)定性，以及系統(tǒng)設(shè)計的模塊化。

的Performech^® II控制模塊和電子設(shè)計

zui高性能的高速閉環(huán)控制業(yè)界的噪音控制

集成的帶輸入/輸出信號的多參數(shù)控制五百倍于前代產(chǎn)品的力學(xué)測試速度

多維度測量耦合

布魯克，納米壓痕儀，海思創(chuàng)TI 980，充分優(yōu)化各個傳感器的特質(zhì)適用不同測量需要，通過多維傳感器的選擇實現(xiàn)

不同測量間的無縫耦合多種有效的測試模塊配置，包括納米/微米壓痕、納米劃痕、納米摩擦磨損、高分辨原位掃描探針顯微鏡成像、動態(tài)納米壓痕和高速力學(xué)性能成像等。

豐富的系統(tǒng)控制和數(shù)據(jù)分析軟件

TriboScan(^TM) 10提供了革命性的控制功能，包括XPM超快納米壓痕，SPM+原位掃描探針顯微鏡成像，動態(tài)表面搜索，全自動系統(tǒng)校準(zhǔn)和創(chuàng)新的測試程序。

Tribo iQ (^TM)提供了強大的數(shù)據(jù)處理、分析和畫圖功能，并具有可編程數(shù)據(jù)分析模塊和自動生成的定制測試報告功能。

大的靈活性和具有前瞻性的表征潛質(zhì)

布魯克，納米壓痕儀，海思創(chuàng)TI 980。多級別的防護罩提供了環(huán)境隔能力，并具有用于將來的升級可擴展接口樣品臺提供了機械、磁性和真空固定方式，適用于各種樣品。

始終處于材料研究和開發(fā)的前沿

海思創(chuàng)從1992年起就在范圍內(nèi)處于納米力學(xué)和納米摩擦學(xué)表征的位置。通過與研究人員和工程師的持續(xù)合作，布魯克理解您的獨特需求，通過創(chuàng)新的技術(shù)幫助您解決當(dāng)下和將來面臨的材料挑戰(zhàn)。海思創(chuàng)TI 980 TriboIndenter是這些努力的集大成者。它提供了的性能，能滿足您持續(xù)更新的材料表征需求。

簡潔、高速的自動控制——系統(tǒng)自動校正使得每次測試都無懈可擊

針尖面積函數(shù)自動校正

傳感器自動校正

壓針和光學(xué)系統(tǒng)校正

自動測試程序

快速、多樣品自動測試功能實現(xiàn)高通量表征

智能化自動程序確保用戶選擇合適的針尖

高分辨多尺度成像結(jié)合全尺寸樣品的光學(xué)搜索，大簡化測試流程

zui低的噪音水平

實現(xiàn)真正納米尺度表征

從微米到幾個納米的多尺度測量納牛級別的力噪音水平和小于90%原子直徑的位移測量能力，實現(xiàn)幾乎任何材料的定量表征

系統(tǒng)可實現(xiàn)超過6個數(shù)量級的力測量和10個數(shù)量級的位移測量

力和位移噪音水平保證在客戶現(xiàn)場安裝時實現(xiàn)

快的反饋控制速率

控制測試過程實現(xiàn)zui大精度、可信度和重復(fù)性的真正定量納米力學(xué)和納米摩擦學(xué)表征特殊的力和位移反饋控制方法用于海思創(chuàng)的傳感器-專門針對海思創(chuàng)傳感器物理特性開發(fā)的力與位移反饋控制算法每隔0.013毫秒實現(xiàn)一次完整反饋控制，使得系統(tǒng)能測量快速瞬態(tài)過程，并對其作出反饋，真正實現(xiàn)用戶的測試意圖-每隔0.013毫秒實現(xiàn)一次完整的感知-分析-控制的循環(huán)，使得系統(tǒng)能對瞬態(tài)過程進行測量與反饋，以此重現(xiàn)用戶定義的測試方式

強大的測試模塊配置，zui大化您的表征潛能

自下而上的設(shè)計提供了的納米力學(xué)測試系統(tǒng)

實現(xiàn)豐富的潛在測試能力

Performech®  II控制模塊

控制納米力學(xué)測試過程

業(yè)界的力和位移噪音水平實現(xiàn)zui高的測量精度和重復(fù)性超快反饋控制算法提供整個測試過程的控制專為各種不同測試而開發(fā)的一整套高性能傳感器

多達24個通道的數(shù)據(jù)采集能力，每個通道都能同時達到1.2MHz采樣率

多個測試頭的耦合——一整套傳感器適用于各種測試任務(wù)

任意兩個測頭之間無縫連接

標(biāo)配二維傳感器和nanoDMA III傳感器實現(xiàn)系統(tǒng)的多種測試功能和高性能

多種有效的測試模塊配置

納米壓痕：硬度，模量，蠕變，應(yīng)力弛豫，斷裂韌性、高速力學(xué)性能成像

納米摩擦：薄膜結(jié)合力，摩擦系數(shù)，抗劃擦性能，磨損

掃描探針顯微鏡成像：形貌和梯度成像，納米級別定位精度，摩擦

力成像動態(tài)納米壓痕：隨著深度連續(xù)測量硬度和模量，存儲模量，損失模量，損耗角正切

在納米力學(xué)測試上一步

nanoDMA III：動態(tài)納米壓痕

布魯克的nanoDMA III是強大的動態(tài)納米壓痕技術(shù)。它提供了彈/塑性和粘彈性隨著壓入深度、頻率和時間的變化關(guān)系。

表征各種材料的普適性方法，從較軟的聚合物到硬質(zhì)鍍層都能適用；

集成直流和交流調(diào)制使得從初始接觸點開始就能實現(xiàn)納米尺度動態(tài)性能的可靠、定量表征；

原位參考頻率法校正溫漂使得長時間測試的精度大大提高。

XPM：快速力學(xué)性能成像

不論是測量分辨率和精度，還是測量速度，XPM都是納米力學(xué)測試的業(yè)界新標(biāo)桿。有了XPM，原來可能需要一整年才能獲得的數(shù)據(jù)，現(xiàn)在只需要一個下午就能獲得。這些的性能是通過以下三個業(yè)界的技術(shù)實現(xiàn)的。1）高帶寬靜電激勵傳感器；2）快速控制和數(shù)據(jù)采集電子系統(tǒng)；3）自上而下的原位掃描探針顯微鏡成像。這些技術(shù)聯(lián)用能實現(xiàn)每秒六次納米壓痕測試，從而獲得的定量納米力學(xué)性能圖譜以及性能分布的統(tǒng)計數(shù)據(jù)。

更少時間測量更多參數(shù)

超高速定量力學(xué)性能測量（每秒6次測量）快速、高分辨空間硬度和模量分布統(tǒng)計一分鐘內(nèi)可靠完成針尖函數(shù)自動校正；

比傳統(tǒng)納米壓痕測試快500倍的數(shù)據(jù)采集速率 xSol 環(huán)境控制腔及載臺，可實現(xiàn)端環(huán)境條件下高通量測量。

SPM⁺實現(xiàn)納米力學(xué)測試前后的準(zhǔn)確原位成像

布魯克創(chuàng)的掃描納米壓痕技術(shù)使用同一根探針實現(xiàn)樣品表面形貌成像和納米壓痕測試。這種方法實現(xiàn)了zui高的定位精度，并且可以在納米壓痕測試后立即對樣品塑性形變進行成像，加快測試速度。

高定位精度（+/-10nm）——可以從64x64到4096x4096范圍內(nèi)設(shè)定掃描分辨率，可以對各種高長寬比的特征形貌進行不同X-Y分辨率成像，業(yè)界的納米力學(xué)性能成像分辨率和調(diào)色板，可以和摩擦力成像，nanoDMA III，nanoECR和xSol環(huán)境控制腔等聯(lián)用

強大的系統(tǒng)控制和分析

TriboScan 10：強大的測試靈活性提供了的測試可能性

將布魯克納米壓痕全套測試技術(shù)集成到一個直觀的軟件內(nèi)，基于標(biāo)簽頁架構(gòu)的軟件設(shè)計使得用戶可以方便的使用軟件功能，靈活的測試過程分段定義方法提供了適用于所有測試模式的優(yōu)異控制

TriboIQ: 可編程數(shù)據(jù)分析程序

易用的操作界面，從簡單到復(fù)雜的可定制數(shù)據(jù)分析包直觀的數(shù)據(jù)組織和分析流程，簡單點擊即可生成數(shù)據(jù)報告直觀可自定義的數(shù)據(jù)處理和分析模塊開放式架構(gòu)使得多用戶合作更加容易

海思創(chuàng)TI980升級選項

xSol環(huán)境控制腔與載臺	環(huán)境控制腔實現(xiàn)了定量納米力學(xué)性能和納米摩擦學(xué)特征隨著溫度、氣氛和濕度的變化。
nanoECR	納米壓痕測試的原位導(dǎo)電特性可以和納米力學(xué)性能，材料形變行為和接觸電阻等同步研究。
xProbe	基于MEMS傳感器的探針可以實現(xiàn)原子力顯微鏡級別的超低力和位移噪音水平。
iTF	的原位薄膜力學(xué)性能分析包提供了排除基底效應(yīng)影響的薄膜和多層膜結(jié)構(gòu)的定量
	力學(xué)性能。
3D OmniProbe和多量程	通過擴展力和位移測量量程實現(xiàn)微米尺度的力學(xué)和摩擦學(xué)特性表征。
NanoProbe
同步拉曼光譜	原位研究力學(xué)性能和摩擦學(xué)特性與材料結(jié)構(gòu)和化學(xué)成分的相關(guān)性。
模量成像	動態(tài)掃描納米壓痕模式提供材料表面的定量、高分辨模量分布。
熒光顯微鏡聯(lián)用	集成熒光顯微鏡可實現(xiàn)熒光共定位納米力學(xué)測試等。
電化學(xué)模塊	實現(xiàn)氧化和還原環(huán)境下的原位定量納米力學(xué)和納米摩擦學(xué)行為研究。
自動探針更換模塊	按鈕操作的自動探針更換模塊。
樣品臺	多尺度的磁性、機械和真空固定方式可以固定幾乎所有待測樣品，包括300mm晶圓。
TriboAE?	聲音傳感器能通過針尖原位監(jiān)測納米壓痕過程中的斷裂和形變產(chǎn)生的聲音信號。
TriboImage?	納米尺度劃痕/磨損的實時表征。

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