zonglen高低溫晶圓盤Thermo Chuck ATC860-Chuck，晶圓盤系統(tǒng)用于半導(dǎo)體晶圓的表征測試、建模、工藝開發(fā)、設(shè)計(jì)調(diào)試，去BUG或IC故障分析，具有所有主要分析探針臺(tái)集成所需的性能和多功能性。

成都中冷低溫科技有限公司是一家創(chuàng)新型高科技企業(yè)，擁有一支專業(yè)知識(shí)扎實(shí)、實(shí)戰(zhàn)經(jīng)驗(yàn)豐富的年輕團(tuán)隊(duì)，主要成員來至于國內(nèi)外知名學(xué)府或科研院所。公司專注于低溫領(lǐng)域，提供常溫到-200℃的全套溫度解決方案，主要生產(chǎn)工業(yè)冷水機(jī)組、低溫制冷機(jī)、深冷水汽捕集泵、高低溫循環(huán)測試機(jī)、太空模擬倉，產(chǎn)品應(yīng)用于化工、石油、生物、制藥、真空鍍膜、電子通訊、電池包測試、集成電路等領(lǐng)域。

zonglen高低溫晶圓盤Thermo Chuck

晶圓盤系統(tǒng)用于半導(dǎo)體晶圓的表征測試、建模、工藝開發(fā)、設(shè)計(jì)調(diào)試，去BUG或IC故障分析，具有所有主要分析探針臺(tái)集成所需的性能和多功能性。

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對(duì)于要求快速溫度變化的分析和生產(chǎn)測試應(yīng)用，降溫和加熱時(shí)間對(duì)晶圓測試尤為重要。溫度轉(zhuǎn)換率比基于水或空氣的傳統(tǒng)系統(tǒng)要快得多。

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主要特點(diǎn)：

· 低噪音

· 溫度范圍為-60°C至+175°C，

· 快速冷卻/加熱速率高達(dá)25°C/min

· 不需要LN2、CO2，減少成本

· 不需要在配置冷水機(jī)

· 溫度穩(wěn)定性±1°C

· 體積小，便于集成

· 免維護(hù)

zonglen高低溫晶圓盤Thermo Chuck ATC-860應(yīng)用程序：

· 探針臺(tái)

· 冷熱平臺(tái)

· 低輪廓器件，表面平坦器件的表征測試

· 功率器件的晶圓測試

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