美國(guó)QVI，好的光學(xué)影像測(cè)量?jī)x Precis 200是基于Micro-Metric的Innova晶圓量測(cè)系統(tǒng)開(kāi)某發(fā)而來(lái)，采用了VMM 公司的設(shè)計(jì)和好技術(shù)。, 新款Precis 包含了很多可配置選項(xiàng)，使設(shè)備更加通用，耐某用以及可某靠。

東莞市天測(cè)光學(xué)設(shè)備有限公司（TianCe Optical Equipment Co.,LTD.）是一家專(zhuān)業(yè)從事測(cè)量?jī)x器銷(xiāo)售和服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。公司坐落在中國(guó)制造業(yè)名城廣東省東莞市.公司本著“誠(chéng)信、專(zhuān)業(yè)、務(wù)實(shí)、創(chuàng)新”的經(jīng)營(yíng)理念，堅(jiān)持“以質(zhì)量求生存、以信譽(yù)求發(fā)展”為企業(yè)宗旨,為客戶提供高質(zhì)低價(jià)的產(chǎn)品和服務(wù),獲得珠三角客戶廣泛好評(píng)。
公司專(zhuān)業(yè)從事美國(guó)QVI產(chǎn)品、OGP影像測(cè)量?jī)x，VIEW影像測(cè)量?jī)x（中國(guó)區(qū)總代）、法國(guó)Keron 關(guān)節(jié)臂三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x、等著名品牌測(cè)量?jī)x器的銷(xiāo)售、安裝、維修、校正、保養(yǎng)、升級(jí)等服務(wù)。公司擁有完善的樣品測(cè)試中心和方案評(píng)估實(shí)驗(yàn)室,可為客戶提供完善的測(cè)量解決方案,公司附設(shè)200平米的機(jī)器展示中心,可為企業(yè)，學(xué)校及研究機(jī)構(gòu)提供三維尺寸測(cè)量，三維激光掃描，測(cè)量?jī)x應(yīng)用培訓(xùn)等服務(wù)。

美國(guó)QVI，好的光學(xué)影像測(cè)量?jī)x Precis 200

新的Precis® 200是基于Micro-Metric的Innova晶圓量測(cè)系統(tǒng)開(kāi)發(fā)而來(lái)，采用了VMM 公司的設(shè)計(jì)和技某術(shù)。
, 新款Precis 包含了很多可配置選項(xiàng)，使設(shè)備更加通用，耐某用以及可某靠。

• 擴(kuò)展了Z軸范圍 – 2.5mm, 5mm or 100mm
• 透射照明
• 完整電子繪圖 – 完全符合 SEMI S2 和 CE 標(biāo)準(zhǔn)
• 符合人某體工程學(xué)的操作員控制臺(tái) ，帶有隱藏鍵盤(pán)托盤(pán), 可調(diào)節(jié)高度和角度的控制面板和顯示器, SEMI S8 符合
• 全自動(dòng)顯微鏡，所有設(shè)置計(jì)算機(jī)控制
• 分辨率像素?cái)z像頭
• VIEW Metrology Software (VMS?) 可測(cè)組件很廣某泛, 可選CAD導(dǎo)入 以及完整的幾何尺寸和公差導(dǎo)入。
• MMWin – 晶圓片 和Mask計(jì)量軟件 –晶圓片的重要尺寸和迭置重合測(cè)量, 滑塊 ABS,光掩模和平板顯示器.
• 標(biāo)準(zhǔn)                        可選
• X,Y,Z行程(mm):        200 x 200 x 5              200 x 200 x 100
• zui大載重:                 12 kg
• XY精度:                    E1=(0.25+2L/1000)um
• Z 精度:                     E1=(0.25)um (with use of a 100 lens)
• 分辨率：                    0.01 微米
• 視場(chǎng)測(cè)量精度和重復(fù)性：0.01 μm (100)
• 直流伺服馬達(dá)驅(qū)動(dòng)
  
  

The all-new Precis® 200 incorporates the most advanced design and technology from VIEW-MM. based on the proven Innova wafer metrology system from Micro-Metric, the new Precis includes a number of configurable options that make the system more versatile, serviceable and reliable:

• Extended Z-axis range – 2.5mm, 5mm or 100mm
• Transmitted illumination
• Integral electronics drawer – fully compliant with SEMI S2 and CE standards
• Ergonomic operator control station with hide-away keyboard tray, adjustable height and angle for control panel and display monitor, SEMI S8 compliant
• Fully automated microscope with all settings computer controlled
• Megapixel camera for optimum resolution
• VIEW Metrology Software (VMS?) allows a wide range of components to be measured, with the option of CAD translation and full geometric dimensioning and tolerancing.
• MMWin – wafer and mask metrology software – ideal for critical dimension and overlay registration measurement for wafers, slider ABS, photomask and flat panel displays.
• Standard                        Optional
• X,Y,Z travel (mm):             200 x 200 x 5              200 x 200 x 100
• Max Recommanded load: 12 kg
• XY Linear Accuracy:           E1=(0.25+2L/1000)um
• Z Linear Accuracy:             E1=(0.25)um (with use of a 100 lens)
• Resolution：                     0.01 μm
• Field of measurement accuracy and repeatability ：0.01 μm (100)
• Dc servo motor drive

Precis 主要用于以下應(yīng)用：
- 亞微米測(cè)量：
◆   微器件和電子元器件封裝、引線框
◆   微型球狀引腳柵格陣列封裝
◆   硬盤(pán)驅(qū)動(dòng)臂、探針卡、刀片
- CD 和套刻測(cè)量：
◆  線寬、涂覆層
◆   MEMS 器件、接觸窗、噴墨打印頭
◆   硬盤(pán)驅(qū)動(dòng)頭、磁頭等
美國(guó)QVI，好的光學(xué)影像測(cè)量?jī)x Precis 200



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