標準探針臺/JKZC-DN系列增強型探針臺
|產(chǎn)品概要
JKZC-DN系列探針臺是我司一款增強型晶圓測試探針臺，大可完成12英寸晶圓的電學測試。此系列探針臺釆 用高剛性顯微鏡龍門結(jié)構(gòu)，顯微鏡可X-Y-Z方向進行位移調(diào)節(jié)。卡盤具備上下調(diào)節(jié)功能,可以使探針與 樣品快速分離，提高測試效率，在科研單位和半導體工廠都得到了廣泛運用，配合對應的儀器儀表,可以完 成集成電路/芯片/MEMS器件/PCB元器件/材料器件的IV/CV特性測試/管芯晶圓LED/LCD/太陽能電池行業(yè)的測試。此系列探針臺可以實現(xiàn)1μm以上的Pad電極測試。
|技術(shù)特點
?顯微鏡具備高剛性龍門支架且搭配氣動升降，保證高質(zhì)量的光學成像；
?卡盤同時具備快速和微調(diào)升降，便于樣品和探針快速分離，也可以加載探針卡；
?可升級性強，可升級卡盤360度快速移動，可升級光電流掃描成像或拉曼-瞬態(tài)熒光壽命成像系統(tǒng)等。
詳細參數(shù)
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產(chǎn)品型號 技術(shù)參數(shù) |
JKZC-DN4 |
JKZC-DN6 |
JKZC-DN8 |
JKZC-DN12 |
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探針臺臺體 |
主體材料 |
航空鋁 |
航空鋁 |
航空鋁 |
航空鋁 |
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整機尺寸（mm） |
580L*480W*620H |
630L*530W*620H |
700L*580W*620H |
800L*650W*620H |
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重量 |
50kg |
60kg |
80kg |
120kg |
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自適應減震系統(tǒng) |
自適應減震底座設計，可有效過濾環(huán)境中的震動源干擾 |
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卡盤大小 |
4",360度轉(zhuǎn)動，可微調(diào) |
6",360度轉(zhuǎn)動，可微調(diào) |
8",360度轉(zhuǎn)動，可微調(diào) |
12",360度轉(zhuǎn)動，可微調(diào) |
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卡盤XY5S行程 |
4"*4"，精度 10um |
6"*6"，精度 lOurm |
8"* 8"，精度 |
12"*12，精度 10um |
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卡盤Z軸行程 |
快速升降5mm,微調(diào)升降行程6mm,精度1微米 |
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卡盤材質(zhì) |
不銹鋼鍍金，具備小的接觸電阻 |
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卡盤吸附方式 |
真空吸附，可選擇環(huán)形吸附或者多孔吸附（適用于薄片） |
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背電極測試功能 |
卡盤鍍金，電學懸空，帶2個4mm香蕉頭插口，具備背電極功能 |
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其它功能 |
帶標準接地保護，可升級，ChJKZC-UCk360度快速移動（選件） |
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針座平臺 |
材質(zhì) |
U型平臺，Q235鍍第帶接地端子 |
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大小 |
多可放置4?6個探針座 多可放置8~10個探針座 |
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■mkZB系統(tǒng) |
顯微鏡類型 |
體式顯微鏡/視頻顯微鏡/金相顯微鏡+CCD成像系統(tǒng) |
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倍率范圍 |
16X~200X/40X~280X/20X~4000X |
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顯微鏡行程 |
具備高剛性龍門架結(jié)構(gòu),XYZ行程分別為2英寸*2英寸*2英寸，精度lum |
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CCD成像系統(tǒng) |
2k或者4K相機，幀率60fps,帶拍照/錄像/測量功能等功能 |
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探針座 |
種類 |
絲桿型/微分頭型/經(jīng)濟型探針座 |
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X-Y-Z行程 |
12.5mm-12.5mm-12.5mm |
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機械精度 |
0.5um/0.7um/2um |
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夾具 |
漏電精度 接口形式 |
同軸夾具10pA/三軸夾具lOOfA |
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同軸/三軸/SMA/香蕉頭/鱷魚夾/裸線等接口 |
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其它 |
選件 |
ChJKZC-UCk360度快速移動/屏蔽箱/防震桌/射頻/同軸/三軸加熱卡盤/探針卡/光電流顯微鏡/大功率 |
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電力需求 |
220V/50HZ |
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