一、特點(diǎn)

1、 使用幾何尺寸十分的紅寶石軸套，確保探針間距的恒定、準(zhǔn)確。

2、 控制寶石內(nèi)孔與探針之間的縫隙不大于6μｍ，保證探針的小游移率。

3、 采用特制的S型懸臂式彈簧，使每根探針都具有、準(zhǔn)確的壓力。

4、 量具精度的硬質(zhì)合金探針，在寶石導(dǎo)孔內(nèi)穩(wěn)定運(yùn)動(dòng)，持久耐磨。

二、用途

1、 測(cè)量硅、鍺單晶（棒料、晶片）電阻率，測(cè)定硅外延層、擴(kuò)散層和離子注入層的方塊電阻。

2、 測(cè)量導(dǎo)電玻璃（ITO）和其它導(dǎo)電薄膜的方塊電阻。

三、探針間距

1、 直線四探針…………… 1.00mm、1.27mm、1.59mm

2、 方形四探針…………… 1.00mm

3、 直線三探針…………… 1.00mm、1.27mm、1.59mm

4、 兩探針    …………… 1.00mm、1.59mm、4.76mm、10.00mm

四、技術(shù)指標(biāo)

1、 游移率   

                   B級(jí)…………… ＜0.5%

                   A級(jí)……………＜0.3%

                   AA級(jí)………… ＜0.2%

                   AAA級(jí)…………＜0.1%

2、 間距偏差  

                   B級(jí)…………… ＜3%

                   A級(jí)…………… ＜2%

                   AA級(jí)…………  ＜2%

                   AAA級(jí)………… ＜1%

3、 zui大針與導(dǎo)孔間隙：0.006mm

4、 探針材料：硬質(zhì)合金（主成份：進(jìn)口碳化鎢）或高速鋼

5、 探針壓力      標(biāo)準(zhǔn)壓力：6—10N（4根針總壓力）

                        小壓力：1.2—5N（4根針總壓力）     

                        1牛頓（N）=101.97克

6、 針尖壓痕直徑：25—100μｍ、100—250μｍ（簿層）

7、 500V緣電阻：＞1000MΩ