保證分辨率

3.0nm（30kV）
8.0nm（3kV）
15nm（1kV）

放大倍數(shù)

5至300,000

加速電壓

0.3kV至30kV

電子槍

工廠預對中燈絲

聚光鏡

變焦聚光鏡

物鏡

錐形物鏡

樣品臺

全對中樣品臺

X-Y

125mm-100mm

Z

5mm至80mm

旋轉

360°

傾斜

－10°至＋90°

排氣系統(tǒng)
（高真空模式）

DPx1，RPx1

排氣系統(tǒng)
（低真空模式）

DPx1，RPx2

JSM-6610A/JSM-6610LA分析型掃描電子顯微鏡，與日本電子公司的元素分析儀（EDS）組合于一體。結構緊湊的EDS由顯微鏡主體系統(tǒng)的電腦控制，操作員只用一只鼠標，就可完成從圖像觀測到元素分析的整個過程。

大樣品室和馬達驅動樣品臺

樣品室對應樣品的直徑可達到200mm,5軸馬達驅動確保了高效率的樣品移動和觀察。

操作窗口

直觀的操作界面的設計，簡明易懂便于迅速掌握操作。

支持多用戶

單個用戶可以根據(jù)常用功能設置相應的圖標，營造高效率的操作環(huán)境。用戶登錄時，即可加載已注冊過的設定。

同時顯示兩幅圖像

畫面上并列顯示二次電子成像和背散射電子成像這兩種實時圖像?？赏瑫r觀察樣品的形貌和組成分布。

微細結構測量

適合于多種測量功能?？稍谟^察圖像上直接進行測量。也可將測量結果貼至SEM圖像，保存在文件中。

標準的全對中樣品臺，能收錄三維照片

3D Sight（選配件），能夠進行平面測量和高度測量，實現(xiàn)立體俯視圖。

從圖像觀察到元素分析，配合連貫一條龍

分析型掃描電子顯微鏡配備兩臺監(jiān)視器，一臺用于SEM圖像觀察和另一臺用于元素分析（EDS）。一只通用鼠標即可同時控制兩臺監(jiān)視器。大尺寸畫面使操作更加簡便與舒適。

維護簡便

工廠預置中心燈絲，十分便于更換。因此，可長期保持穩(wěn)定的高性能。此外，操作界面還能以映像形式顯示燈絲維護的步驟說明。

可信賴的真空系統(tǒng)

真空系統(tǒng)使用高性能的擴散泵保證了潔凈的高真空狀態(tài)。擴散泵內部無活動部件，體現(xiàn)了操作穩(wěn)定，維護簡便的特色。

后續(xù)更新中...........