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硅烷純度分析氦離子氣相色譜儀

上海華愛色譜分析技術有限公司
會員指數(shù): 企業(yè)認證:

價格:電議

所在地:上海

型號:

更新時間:2011-12-01

瀏覽次數(shù):4004

公司地址:上海市邯鄲路100號54乙

李建浩 (先生)  

產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品簡介 PDHID對硅烷中氣體雜質(zhì)檢測限(ppb) H2 O2+Ar N2 CO CH4 CO2 C2 C3 SimHn 50

公司簡介

上海華愛色譜分析技術有限公司系上海市高新技術企業(yè),是一家集氣相色譜儀的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售于一體的高科技企業(yè),公司致力于氣相色譜分析整體解決方案的應用研究,是國內(nèi)第一家專業(yè)從事氣相色譜分析方法研究和開發(fā)的企業(yè)。


公司致力于產(chǎn)品的創(chuàng)新,先后獲得多項國家專利,并有多個產(chǎn)品榮獲上海市高新技術成果轉(zhuǎn)化認證、上海市重點新產(chǎn)品等稱號,部分產(chǎn)品已經(jīng)獲得上海市創(chuàng)新資金和國家創(chuàng)新基金立項扶持。公司已經(jīng)在同行業(yè)中率先通過并認真實施了ISO9001:2000國際質(zhì)量管理體系認證,確立了“誠信為本、質(zhì)量先行;科學管理、追求卓越”的質(zhì)量方針。2008年榮獲由上海市科學技術協(xié)會、上海市工商業(yè)聯(lián)合會和上海市科技創(chuàng)業(yè)中心聯(lián)合組織評選的第二屆上海市最具活力科技企業(yè)。


公司在復旦大學科技園擁有650平方米的標準化生產(chǎn)基地,具備完善的管理制度以及一流的生產(chǎn)環(huán)境,擁有獨立的金工車間、裝配車間、調(diào)試車間、研發(fā)中心,年產(chǎn)各型號氣相色譜儀達500多臺套,產(chǎn)品覆蓋了試驗室色譜、便攜式色譜和在線色譜等整個氣相色譜行業(yè)的所有產(chǎn)品。新推出的GC-9560系列氣相色譜儀實現(xiàn)了全計算機反控技術,采用大屏LCD幕液晶顯示,中文菜單的操作模式,設計新穎,操作簡便,深受廣大色譜用戶的青睞。公司推出的GC-9560-HD變壓器油專用色譜儀、GC-9560-HS車用汽油分析專用色譜儀、GC-9560-HQ燃氣分析專用色譜儀、GC-9560-HG氦離子化氣相色譜儀、GC-9560-HT室內(nèi)環(huán)境質(zhì)量檢測專用色譜儀、GC-9760變壓器油專用微型色譜儀等十余種產(chǎn)品已成功應用到全國二十多個省市自治區(qū)和直轄市的電力監(jiān)督、石油化工、質(zhì)量監(jiān)督檢驗、環(huán)境監(jiān)測、科研院所、大專院校、衛(wèi)生防疫、釀造、糧油等諸多行業(yè)。


公司秉承“以質(zhì)量求生存、以信譽求發(fā)展”的經(jīng)營理念,五十余人組成的團隊成員均擁有大學學歷,憑借在氣相色譜分析領域的技術優(yōu)勢和孜孜不倦的追求技術進步的精神,華愛色譜將為您提供最優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和最前沿的技術方案,實現(xiàn)華愛應用創(chuàng)造價值的創(chuàng)業(yè)理念。


ISO9001:2000質(zhì)量管理體系:

上海華愛色譜分析技術有限公司于2008年全面通過ISO9001:2000國際質(zhì)量管理體系認證,確立了公司的質(zhì)量方針和質(zhì)量目標,為了切實履行ISO9001:2000國際質(zhì)量管理體系的規(guī)定,提高公司產(chǎn)品的質(zhì)量管理水平,公司制定了一套完善的質(zhì)量管理體系文件,包括《文件控制程序》、《記錄控制程序》、《管理評審控制程序》、《培訓控制程序》、《與顧客有關的控制程序》、《內(nèi)部審核控制程序》、《不合格品控制程序》、《改進控制程序》”等八個程序文件,同時做好各個環(huán)節(jié)的記錄,不斷提高公司的產(chǎn)品質(zhì)量和服務水平


公司質(zhì)量方針:

誠信為本、質(zhì)量先行;科學管理、追求卓越


 

展開

產(chǎn)品說明

產(chǎn)品簡介
PDHID對硅烷中氣體雜質(zhì)檢測限(ppb)
H2 O2+Ar N2 CO CH4 CO2 C2 C3 SimHn
50 50 50 50 20 20 20 20 50
產(chǎn)品詳細信息

電子工業(yè)氣體:

高純度硅烷氣體雜質(zhì)組份的檢測

一:應用領域:
硅烷在大規(guī)模集成電路(LSI)、超大規(guī)模集成電路(VLSI)和半導體器件制造中,用于氣相外延生長、化學氣相淀積等工藝(工序)。
1. 外延(生長)混合氣 在半導體工業(yè)中,在仔細選擇的襯底上選用化學氣相淀積的方法,生長一層或多層的材料所用的氣體叫做外延氣體。常用的硅外延氣體有二氯二氫硅、四氯化硅和硅烷等。主要用于外延硅淀積,多晶硅淀積,氧化硅膜淀積,氮化硅膜淀積,太陽能電池和其他光感受器的非晶硅膜淀積等。外延生長是一種單晶材料淀積并生長在襯底表面上的過程。
2. 化學氣體淀積(CVD)用混合氣 CVD是利用揮發(fā)性化合物,通過氣相化學反應沉積某種單質(zhì)或化合物的一種方法,即應用氣相化學反應的一種成膜的方法。依據(jù)成膜種類,使用的化學氣相淀積(CVD)氣體也不同。

二:硅烷中微量雜質(zhì)的分析一直是色譜分析的難點。
目前多數(shù)采用的熱導檢測器由于靈敏度有限,很難測定5ppm以下的雜質(zhì);火焰離子化檢測器和氧化鋯檢測器是選擇性的檢測器,只能分析少數(shù)幾種氣體雜質(zhì),均不能很好的滿足硅烷氣體分析的基本要求。
PDHID檢測器(脈沖放電氦離子檢測器)是一種靈敏度極高的通用型檢測器,對幾乎所有無機和有機化合物均有很高的響應,特別適合氣體的分析,是能夠檢測至ng/g(ppb)級的檢測器。


本頁產(chǎn)品地址:http://jssdj.com/sell/show-243.html
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