X熒光光譜儀是掃描型的儀器，當儀器運行時，許多件在動作，如測角儀、晶體轉換器、準直器等，經常動作的件容易出現問題，另外控制和探測各個件動作的電子線路板也可能出現問題。
 

  X熒光光譜儀都裝有故障診斷軟件，分布于儀器各個位的傳感器將儀器的狀態(tài)信號傳輸到計算機，供儀器操作者和維修程師判斷儀器是否正常，找到產生故障的位。但是有些在測量過程中出現的問題靠診斷軟件是發(fā)現不了的，而且診斷軟件僅僅提示產生了故障，要找到產生故障的原因，要求維修人員對儀器的結構熟悉，且具有定的維修經驗。本文介紹4種常見故障的產生原因及處理方法。
 

  故障現象：光譜室和樣品室的真空抽不到規(guī)定值。
 

  故障分析：
 

  X射線熒光光譜分析通常在真空光路條件下作，但光譜室和樣品室有很多位與外相連，可能漏氣的位很多。檢查真空故障時，將可能出問題的地方人為分隔為三分：真空泵、樣品室、光譜室，對這三分逐檢查以縮小范圍。
 

  2.1真空泵
 

  將真空泵與光譜室和樣品室的接口拆下并用橡皮塞堵住，然后抽真空，如果能在幾秒鐘內抽到規(guī)定值，可以排除真空泵出現故障的可能性。如果能抽到規(guī)定值但時間較長，可能是真空泵的效率降低，這種情況般發(fā)生在經常分析壓片樣品和油品的儀器上，粉末或油被吸到真空泵油中，改變了油的粘度，這時需換真空泵油。
 

  2.2樣品室
 

  樣品室常見的漏氣位是樣品自轉裝置上的密封圈，樣品測量時通常以0.5轉/秒的速度自轉，儀器幾年運行下來，樣品自轉處的密封圈磨損，密封效果變差。
 

  2.3光譜室
 

  光譜室常見的漏氣位是流氣計數器，流氣計數器安裝在光譜室內，有根入氣管和根出氣管與外界相通，流氣計數器的窗膜很薄，窗膜漏氣，就會影響光譜室真空。檢查方法：將入氣管和出氣管用根軟管連接，使流氣計數器與外界隔，然后抽真空。
 

  檢查真空故障，在拆卸和安裝時，要小心操作，不要讓灰或頭發(fā)掉到密封圈上，以避免產生新的漏氣點，安裝時可以在密封位涂點真空油脂。
 

  故障現象二：計數率不穩(wěn)定。
 

  故障分析：
 

  X熒光光譜儀的常用探測器有二個：流氣計數器和閃爍計數器。閃爍計數器很穩(wěn)定，問題常出現在流氣計數器上。
 

  流氣計數器窗膜由塊聚酯薄膜、hostaphan膜或聚丙烯薄膜鍍上層很薄(約30nm)的鋁膜所構成，由于窗膜承受大氣壓力，段時間后隨著基體材料的延展，鋁膜可能產生裂紋，從而減弱導電性能，這種情況對脈沖度分布影響不大，但會使計數率不穩(wěn)定。新型號的X熒光光譜儀般都安裝1μm甚至0.6μm的窗膜，而不再使用6μm的窗膜，因此流氣計數器的窗膜導電性能下降的可能性增大。
 

  檢查方法：在低X射線光管率情況下，選個KKα計數率約2000CPS的樣品，測定計數率，然后用個鉀含量的樣品取代原樣品，將光管調到滿率，保持2分鐘，再將X射線光管率減至原值，測量樣品，如窗膜導電正常，將得到原計數率，如窗膜導電性能變差，會發(fā)現計數率減小，然后慢慢回升至初始值，這時就應調換窗膜。