儀器的好壞主要取決于它的組件，因此要想選擇款好的儀器就得從組件著手。接下來(lái)我們就來(lái)介紹下X射線熒光光譜儀主要組件的選擇。

、X射線源（X射線管、供電電源、濾光片、光束尺寸）
這里將些組件都列到X射線源里面統(tǒng)討論，包括X射線管、電源供應(yīng)器、濾光片、光束尺寸。
X射線管和供電電源決定了檢測(cè)樣品將受到的能量強(qiáng)度和能量分布。商業(yè)化的能量色散X射線熒光光譜儀中用到的大多數(shù)X射線管都是50KV，1mA（50W）規(guī)格的。50KV的電壓能夠提供更的激發(fā)效率；X射線管通量可以利用燈絲電流設(shè)置行控制。
X射線管本質(zhì)上是個(gè)在電壓下作的二管，包括個(gè)發(fā)射電子的陰和個(gè)收集電子的陽(yáng)（也即靶材）；常用的陽(yáng)材料有鎢（W）、銠（Rh）、鉬（Mo）和鉻（Cr）等，其中鎢（W）和銠（Rh）使用zui為廣泛。鎢金屬能夠產(chǎn)生更強(qiáng)的軔致輻射，也因此能得到更的能量（17-30KeV）激發(fā)效率。對(duì)于低原子序數(shù)元素的激發(fā)，則通常選取銠（Rh）元素。
濾光片通常置于X射線管窗和樣品之間以過(guò)濾由X射線管產(chǎn)生的特定能量波。濾光片主要起到兩方面作用：
是當(dāng)X射線管可能會(huì)對(duì)樣品中待檢測(cè)元素產(chǎn)生影響時(shí)去除管特征譜的干擾；
二是去除光譜背景的主要來(lái)源——背散射輻射。光譜背景峰的去除能夠有效提峰/背比響應(yīng)值，提檢出限。 
光束尺寸通常由具有不同直徑的圓形（有時(shí)也為矩形）準(zhǔn)直器控制；準(zhǔn)直器尺寸與準(zhǔn)直器到樣品間的距離決定了其分析域。

二、氣氛
X射線熒光光譜儀能夠分析元素周期表中的大分元素，具體而言，從鈉元素（原子序數(shù)Z=11）到鈾元素（原子序數(shù)Z=92）都可以利用這種術(shù)行檢測(cè)分析。但是對(duì)于原子序數(shù)較低的元素（鈦元素Ti，Z=22以下），空氣會(huì)對(duì)檢測(cè)結(jié)果產(chǎn)生較大影響；由低原子序數(shù)元素產(chǎn)生的熒光值通常更低，并且樣品基體中的其它元素有可能會(huì)吸收低原子序數(shù)元素的能量輻射。
通常情況下，用于提低原子序數(shù)元素的檢測(cè)靈敏度的方法主要為將儀器的樣品室抽成真空環(huán)境或者以氦氣(He)沖洗樣品室。

三、探測(cè)器
探測(cè)器術(shù)——硅漂移探測(cè)器（SDDs）能夠提低能量敏感度，使得X射線熒光光譜術(shù)可以對(duì)些低原子序數(shù)元素行檢測(cè)分析，甚至是在空氣氣氛中也能行檢測(cè)，例如用于測(cè)量化學(xué)鍍鎳涂層中磷元素（原子序數(shù)Z=15）的含量。但是，大多數(shù)的低原子序數(shù)元素的檢測(cè)分析依然還需要隔離空氣氣氛。
在能量色散X射線熒光光譜儀中，硅探測(cè)器已經(jīng)變得非常普遍；今天用到的硅探測(cè)器要么就是上面提到的硅漂移探測(cè)器，要么就是Si-PIN探測(cè)器，而流行的三種探測(cè)器是種密封的、充氣的正比計(jì)數(shù)器（Prop Counter）。
對(duì)于不同的應(yīng)用用途，X射線熒光光譜儀體系中探測(cè)器的選擇也不盡相同——例如對(duì)于定性分析往往需要用到硅漂移探測(cè)器。
正比計(jì)數(shù)器探測(cè)器較大的半寬（FWHM）會(huì)導(dǎo)致相鄰元素的檢測(cè)譜圖嚴(yán)重重疊，以至于利用峰值搜索算法和/或可見(jiàn)光譜觀察法都無(wú)法探測(cè)出其中某種或者多種成分的存在。對(duì)于些需要鑒別元素成分的業(yè)制品，其質(zhì)量檢驗(yàn)結(jié)果由于發(fā)生嚴(yán)重重疊，難以分辨，成難以檢測(cè)。
雖然利用硅探測(cè)器也會(huì)發(fā)生譜圖上的峰重疊現(xiàn)象，但在大多數(shù)的情況下，這些重疊峰能夠被輕易的分離和識(shí)別，這些特征使得硅探測(cè)器體系其適用于定性分析和來(lái)料檢驗(yàn)等方面。
組成能量色散X射線熒光光譜儀的電子器件般都非常穩(wěn)定，不會(huì)影響分析度；而無(wú)規(guī)計(jì)數(shù)誤差通常對(duì)測(cè)量度的影響較大。計(jì)數(shù)誤差般遵循泊松統(tǒng)計(jì)分布——每次測(cè)量獲得的數(shù)據(jù)越多，測(cè)量度越。
硅漂移探測(cè)器具有很的數(shù)據(jù)吞吐量，因此當(dāng)測(cè)量需要多采樣、時(shí)可以考慮使用這種探測(cè)器；但這通常需要樣品具有較的熒光強(qiáng)度值。熒光強(qiáng)度值取決于樣品——如樣品類型，樣品測(cè)量區(qū)域等。 
在分析測(cè)量些薄膜或者小樣品時(shí)，樣品的特性可能會(huì)很微小。當(dāng)樣品或者樣品區(qū)很小（直徑只有幾十微米）時(shí)，探測(cè)器的立體角則會(huì)起到很大的作用。而樣品或樣品區(qū)很小的情況往往都發(fā)生在測(cè)量電子元件和能性涂層厚度等時(shí)候，這時(shí)正比計(jì)數(shù)器（Prop Counter）就成為了種非常受歡迎的選擇，因?yàn)檫@種探測(cè)器具有的大俘獲角允許可以使用更小的準(zhǔn)直儀。因此，當(dāng)樣品譜圖相對(duì)簡(jiǎn)單，含有元素只有兩到三種，樣品分析區(qū)域直徑小到100-200微米時(shí)，正比計(jì)數(shù)器Prop Counter則是個(gè)非常理想的選擇。