ICP光譜儀即電感耦合等離子體光譜儀，ICP發(fā)射光譜法是根據(jù)處于激發(fā)態(tài)的待測元素原子回到基態(tài)時發(fā)射的特征譜線對待測元素進行分析的方法。ICP發(fā)射光譜儀主要應(yīng)用于無機元素的定性及定量分析。與其他類型的光譜儀相比，ICP光譜儀具有以下優(yōu)點：
    1、選擇性好。由于光譜的特征性強，所以對于一些化學(xué)性質(zhì)相似的元素的分析具有特別重要的意義。如鈮和鉭、銑和鉿、十幾種稀土元素的分析用其他方法都很困難，而對aes來說是毫無困難之舉。
    2、檢出限低。一般可達0.1～1ug·g－1，值可達10－8～10－9g。用電感耦合等離子體（icp）新光源，檢出限可低至 數(shù)量級。
    3、多元素同時檢出能力。可同時檢測一個樣品中的多種元素。一個樣品一經(jīng)激發(fā)，樣品中各元素都各自發(fā)射出其特征譜線，可以進行分別檢測而同時測定多種元素。
    4、用icp光源時，準(zhǔn)確度高，標(biāo)準(zhǔn)曲線的線性范圍寬，可達4～6個數(shù)量級?？赏瑫r測定高、中、低含量的不同元素。因此icp－aes已廣泛應(yīng)用于各個領(lǐng)域之中。
    5、樣品消耗少適于整批樣品的多組分測定，尤其是定性分析更顯示出獨特的。
    6、分析速度快，試樣多數(shù)不需經(jīng)過化學(xué)處理就可分析，且固體、液體試樣均可直接分析，同時還可多元素同時測定，若用光電直讀光譜儀，則可在幾分鐘內(nèi)同時作幾十個元素的定量測定。