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FT-351系列高溫四探針電阻率測試儀
一.概述：
采用四探針雙電組合測量方法測試方阻和電阻率系統(tǒng)與高溫箱結(jié)合配置高溫四探針測試探針治具與PC軟件對數(shù)據(jù)的處理和測量控制，解決半導(dǎo)體材料的電導(dǎo)率對溫度變化測量要求，軟件實時繪制出溫度與電阻，電阻率，電導(dǎo)率數(shù)據(jù)的變化曲線圖譜，及過程數(shù)據(jù)值的報表分析.
FT-351系列高溫四探針電阻率測試儀
二.適用行業(yè)：:
用于：企業(yè)、高等院校、科研部門對導(dǎo)電陶瓷、硅、鍺單晶（棒料、晶片）電阻率、測定硅外延層、擴(kuò)散層和離子注入層的方塊電阻以及測量導(dǎo)電玻璃（ITO）和其它導(dǎo)電薄膜等新材料方塊電阻、電阻率和電導(dǎo)率數(shù)據(jù).
雙電測四探針儀是運用直線四探針雙位測量。設(shè)計參照單晶硅物理測試方法并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。
FT-351系列高溫四探針電阻率測試儀
三. 型號及參數(shù)：
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規(guī)格型號 |
FT-351A |
FT-351B |
FT-351C |
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1.方塊電阻范圍 |
10^-5～2×10^5Ω/□ |
10^-6～2×10^5Ω/□ |
10^-4～1×10^7Ω/□ |
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2.電阻率范圍 |
10^-6～2×10^6Ω-cm |
10^-7～2×10^6Ω-cm |
10^-5～2×10^8Ω-cm |
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3.測試電流范圍 |
0.1μA.μA.0μA，100μA，1mA，10mA，100 mA |
1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA |
10mA ---200pA |
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4.電流精度 |
±0.1%讀數(shù) |
±0.1讀數(shù) |
±2% |
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5.電阻精度 |
≤0.3% |
≤0.3% |
≤10% |
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6.PC軟件界面 |
顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率 |
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7.測試方式 |
雙電測量 |
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8.四探針儀工作電源 |
AC 220V±10%.50Hz <30W |
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9.誤差 |
≤3%（標(biāo)準(zhǔn)樣片結(jié)果 |
≤15% |
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10.溫度(選購) |
常溫--200℃;400℃；600℃；800℃；1000℃；1200℃；1400℃；1600℃ |
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11. 氣氛保護(hù) （氣體客戶自備） |
常用氣體如下：氦(He)、氖(Ne)、氬(Ar)、氪(Kr)、氙(Xe)、氡(Rn)，均為無色、無臭、氣態(tài)的ink">單原子分子 |
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12.溫度精度 |
沖溫值：≤1-3℃；控溫精度：±1°C |
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13.升溫速度： |
常溫開始400℃--800℃需要15分鐘；800℃-1200℃需要30分鐘；1400℃-1600℃需要250分鐘—300分鐘 |
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15.PC軟件 |
測試PC軟件一套，USB通訊接口，軟件界面同步顯示、分析、保存和打印數(shù)據(jù)！ |
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16.電極（探針）材料 |
標(biāo)配：鎢電極或鉬電極+電極（探針）陶瓷管 +高溫陶瓷樣品臺，1套. |
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17.探針間距 |
直線型探針，探針間距：4mm； |
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18.樣品要求 |
樣品長度要求≥13mm 樣品寬≥2mm或直徑≥13mm |
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19.高溫電源： |
供電：400-1200℃ 電源220V，功率2-4KW；380V;1400℃-1600℃電源380V；功率4-6KW： |
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20.標(biāo)配外（選購）： |
a電腦和打印機(jī)1套；b.標(biāo)準(zhǔn)電阻1-5個； c.S型鉑銠探針電極（溫度范圍：200-1300度）； d.B型鉑銠探針電極（溫度范圍：1400-1600度） |
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