薄膜測(cè)厚儀
薄膜測(cè)厚儀
薄膜測(cè)厚儀

一、 方案概述
該技術(shù)方案根據(jù)隔膜產(chǎn)品厚度測(cè)試常規(guī)方式編寫，提供的薄膜厚度儀滿足日常厚度測(cè)量技術(shù)要求，同時(shí)滿足國標(biāo)（GBT 6672-2001）規(guī)定的技術(shù)要求。薄膜厚度儀方案為多個(gè)部件的組合件，產(chǎn)品主要由C1216M 主機(jī)及其附屬件（整套系統(tǒng)由數(shù)顯箱，傳感器測(cè)頭，工作臺(tái)架和提升裝置及接口軟件）組成。 該套方案旨在滿足用戶隔膜產(chǎn)品厚度檢測(cè)要求，實(shí)現(xiàn)厚度檢測(cè)功能。
二、基本技術(shù)要求
薄膜測(cè)厚儀主要用于對(duì)薄膜產(chǎn)品進(jìn)行厚度檢測(cè)。
使用地點(diǎn)：廠房檢驗(yàn)室
實(shí)驗(yàn)環(huán)境：溫度 20±2℃ 濕度 50±5%
基本性能應(yīng)滿足以下要求：
1、測(cè)量厚度范圍：>3um
2、測(cè)量度：0.01um
3、產(chǎn)品在使用過程中不能出現(xiàn)任何安事故，性能，能長周期運(yùn)行。
4、專用測(cè)試軟件，能夠在測(cè)試過程中直觀顯示測(cè)試數(shù)據(jù)（數(shù)據(jù)傳輸至EXCEL表格或其他用戶位置），可用于后續(xù)統(tǒng)計(jì)分析。
三、 薄膜測(cè)厚儀技術(shù)參數(shù)描述
薄膜厚度儀相關(guān)組件規(guī)格及技術(shù)參數(shù)如下：
結(jié)構(gòu)及設(shè)計(jì)特點(diǎn) 整套系統(tǒng)由數(shù)顯箱，傳感器測(cè)頭，工作臺(tái)架和提升裝置組成
數(shù)顯箱（C1216M）特性：
a, 數(shù)顯箱采用LCD 顯示，帶模擬指針顯示和兩行數(shù)字顯示
b, 5 個(gè)三色燈用于差和處于公差限時(shí)的報(bào)警
c, 靜態(tài)測(cè)量： ± A, ± B 和所有組合
d, 動(dòng)態(tài)測(cè)量：zui大值，zui小值，差值，和值，平均值
e, 可通過按鍵或R232 接口連接設(shè)置軟件進(jìn)行相關(guān)的設(shè)置與編程
-傳感器測(cè)頭特性：
a, 測(cè)量范圍±2mm
b, 通過提升裝置實(shí)現(xiàn)抬升功能
c, 測(cè)力標(biāo)準(zhǔn)為0.75N
d, 測(cè)量度：0.05um（±0.1mm 范圍內(nèi)）
工作臺(tái)架（820FC）特性：
a, 工作范圍0-110mm
b, 底座由淬硬不銹鋼制成
c, 支撐桿為不銹鋼材質(zhì)
傳感器測(cè)頭（1301）特性：
工作量程：±1mm
支持手動(dòng)提升線提升
zui大測(cè)量誤差：
0.5μm（±0.5mm 量程范圍內(nèi)）
1μm（±1mm 量程范圍內(nèi)）
樣品種類（儀器適用的分析樣品種類） 薄膜等
儀器的測(cè)量范圍 zui大量程±1mm
儀器的分辨率 0.01μm
溫度（或其它技術(shù)參數(shù)）范圍 工作于室溫狀態(tài)
儀器配置的主要附件及規(guī)格 見配置清單
測(cè)試的重復(fù)性誤差fw 0.1μm
鍵盤和顯示 LED 屏幕顯示
水、電、氣等外部條件要求 220V，50Hz，11W
外形尺寸 數(shù)顯箱：205mm x 160 mm x 165 mm
工作臺(tái)架：155 mm x 100 mm x 216.5 mm
重量 數(shù)顯箱：2.1Kg 工作臺(tái)架：2.6Kg
整套系統(tǒng)(數(shù)顯箱，傳感器測(cè)頭，工作臺(tái)架和提升裝置)